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DR. HOERLEIN & PARTNER的XUV光谱仪提供校准的平场光谱信息，只用一个光栅就可覆盖5nm-80nm波段。对于10-80nm范围，可以不用狭缝，以便在很大的距离内收集到更多的激光。模块化的设计可以用来匹配不同的系统结构。集成了狭缝和滤波片固定装置，同时，光栅可以用电机控制。
