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DR. HOERLEIN & PARTNER的XUV光谱仪提供校准的平场光谱信息,只用一个光栅就可覆盖5nm-80nm波段。对于10-80nm范围,可以不用狭缝,以便在很大的距离内收集到更多的激光。模块化的设计可以用来匹配不同的系统结构。集成了狭缝和滤波片固定装置,同时,光栅可以用电机控制。
索要资料DR. HOERLEIN & PARTNER的XUV光谱仪提供校准的平场光谱信息,只用一个光栅就可覆盖5nm-80nm波段。对于10-80nm范围,可以不用狭缝,以便在很大的距离内收集到更多的激光。模块化的设计可以用来匹配不同的系统结构。集成了狭缝和滤波片固定装置,同时,光栅可以用电机控制。
波长(nm) |
5~20 |
10~60 |
25~80 |
工作模式 |
狭缝 |
无狭缝 |
无狭缝 |
光源距离(m) |
|
0.4~0.6 |
0.5~1.5 |
平场尺寸(mm) |
25.4 |
50 |
50 |
色散(nm/mm) |
0.5~0.7 |
0.7~1.1 |
0.9~1.3 |
分辨率(nm) |
≈0.06 |
≈0.09 |
0.11 |
*波长范围1-15nm需要另一块光栅
*也可以定制其他结构来匹配不同的光源距离
下面的图像可以证明XUV光谱仪的测量能量。它展现的是滤波后的单发飞秒激光脉冲的高次谐波谱。上面的图显示了x-ray CCD探测到的原始影像,而下面的图显示的是柱条叠加后的谐波图谱。这个过程都由XUV光谱仪自动完成
平场入射光栅光谱
单光栅波长范围覆盖5-80nm
也可以选择1-5nm光谱
三种不同的几何结构
不同的探测器选择:X-ray CCD相机或MCP锥形光纤
工作气压<10-6mbar,也可以提供无油气泵的独立真空系统