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位置/角度分析仪

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  • 准直仪AlignMeter USB

    通用性:可测量光束位置(直径高达9mm)、角度(高达180mRad)和功率(无滤波片10µW-5mW) 精确度:低至0.1µm分辨率@50Hz数字滤波器,位置测量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度测量:±0.125mRad 便捷性:USB2.0接口,探测器和软件在Notebook/Desktop WinXP/Vista/7/8均可工作

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  通用性:可测量光束位置(直径高达9mm)、角度(高达180mRad)和功率(无滤波片10µW-5mW

  精确度:低至0.1µm分辨率@50Hz数字滤波器,位置测量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度测量:±0.125mRad

  便捷性:USB2.0接口,探测器和软件在Notebook/Desktop WinXP/Vista/7/8均可工作

  友好的软件操作,具有完整的联机帮助程序

 

性能参数

型号

波长

透镜焦距

位置分辨率

位置精确度

角度测量范围

角度分辨率

角度精确度

重量

AlignMeter – 50

350-1100nm

50mm

≥0.1µm

±15µm

180mRad

0.02mRad

0.5mRad

140Gr

AlignMeter – 100c

100mm

≥0.1µm

±15µm

80mRad

0.01mRad

0.25mRad

180Gr

 

※检测激光指向稳定性

※检测平台平面度

检测导轨和平移台的偏摆和俯仰

辅助装配机器手导光臂

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